双束扫描电镜是电子显微镜中的一种，在这种电子显微镜中，离子束可以先将样品表面的污染物去除，从而提高电子束的信号噪比。那么，TESCAN 泰思肯双束扫描电镜的优势主要有哪些？为方便大家了解，下面就让小编来为大家简单介绍下：
以TESCAN SOLARIS 超高分辨氙离子源双束聚焦扫描电镜为例，它具有极高的精度和极高的效率。该设备提供了纳米尺寸结构分析所必需的高分辨率和表面灵敏度，为大体积 3D 样品特性分析提供了最佳条件。同时，它还提供无与伦比的 FIB 功能，可实现精确、无损的超大面积加工，包括封装技术和光电器件的横截面加工。
TESCAN 泰思肯双束扫描电镜的优势包括：
1、新的 Essence 软件的用户界面可实现更轻松、更快速、更流畅的操作，包括碰撞模型和可定制的面向应用流程的布局；
2、新一代 Triglav™ UHR SEM 镜筒具有极佳的分辨率，优化的镜筒内探测器系统在低束流能量下具有卓越的性能；
3、轴向探测器通过能量过滤器，可以接收不同能量的电子信号，增强表面敏感性；
4、新型 iFIB+™ Xe 等离子 FIB 镜筒具有无与伦比的视野，可实现极大面积的截面加工；
5、新一代 SEM 镜筒内探测器结合高溅射率 FIB，实现超快三维微分析；​
6、专利的气体增强腐蚀和加工工艺，尤为适合封装和 IC 去层应用；
7、高精度压电驱动光阑，可实现 FIB 预设值之间的快速切换。
关于TESCAN 泰思肯双束扫描电镜的优势，小编就先为大家介绍到这里。此外，新一代的 FIB 镜筒具有 30 个光阑，可以延长使用寿命，并最大限度地减少维护成本。若用户对此产品感兴趣，可以直接通过TESCAN 泰思肯的官网来进一步咨询获悉。